二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9352784 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7光抗蝕劑設備是用於制造微電子器件的最先進的高分辨率光刻工具。它是一種生產質量工具，利用先進的光刻技術小規模地產生精確的電子電路。該系統采用了光學、背景光曝光和圖像圖樣技術的復雜組合。它有一個350毫米寬、350毫米深的基板卡盤，可以靜電結合標本進行加工。該裝置還能夠在廣泛的溫度範圍內進行可控的加熱和冷卻，從而最大限度地提高其在加工各種基板方面的多功能性。該機具有先進的前端處理能力，如Reticle Preview Correlative Analysis （RPCA）、X-Y階段移動控制、Spin End、Edge Treatment和Post Exposure Bake （PEB）。這些功能可以可靠地產生高保真度和最小缺陷的圖樣圖像。TEL MARK7還配備了用於監測和數據分析的高級軟件。首先，激光源圖像測量工具（LSIMS）可用於上下文敏感測量和實時過程監測。它還包括電光校準（EOC），通過校準光學模型幫助確保資產的準確性和可靠性。此外,殘余圖像分析（RIA）功能允許自動檢測打印圖像中的小錯誤或缺陷。該設備還具有一個直觀的用戶界面,允許高效操作而不會出錯。此外,它的模塊化設計使其易於集成到生產線中,從而減少了停機時間並改善了工藝流程。TOKYO ELECTRON MARK-7是一個高度可靠的系統，可以產生無與倫比的精確度和精確度的小型電子元件和特性。