二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9364579 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7
ID: 9364579
晶圓大小: 2"-6"
Track system, 2"-6".
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是為精密光刻而設計的先進光刻設備。由TEL開發,專為提高用於制造微電子電路的光刻工藝的精度和效率而設計。該系統使用先進的晶圓掃描單元構建,以精確地將光刻膠圖像暴露在基板上。這是通過掃描儀頭完成的,掃描儀頭在晶圓上快速移動,發出光束。光束通過掃描儀透鏡的狹縫定向,以精確地暴露光刻膠層。TEL MARK7還具有高性能、六邊形、坐標驅動機器,可對光束的頻率和振幅提供精確的運動控制。此外,它還配備了一個全自動工具,用於在光刻膠曝光和開發過程中保護基板。資產還具有多種選項,可用於為各種應用程序定制模型。它可以配置階段傾斜、曝光時間、曝光劑量、掃描速度、掃描角度以及基板尺寸和類型的不同配置。此外,還可以配備高級掃描設備和其他模塊,以進一步提高其準確性和吞吐量。最後,TOKYO ELECTRON MARK-7的設計具有很高的安全性。它包括自動安全功能以防止過度暴露,並具有一整套警報和聯鎖功能以確保過程安全。此外,它還從TOKYO ELECTRON全球支持網絡提供維護和支持。總體而言,MARK-7是一種先進的光刻設備,旨在提高精密光刻工藝的準確性和吞吐量。其高性能、六邊形的坐標驅動器系統和可定制的選項為滿足各種應用程序的需求提供了靈活性。它還具有綜合安全單元,並得到TEL/TOKYO ELECTRON全球支持網絡的支持。
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