二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9399016 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是為制造半導體器件而設計的光刻加工設備。它是一種緊湊且高度自動化的工具，用於創建高精度和高容量的光刻膠圖案。該過程從在基板上應用光刻膠開始。這是由水平旋轉塗層完成的，提供晶圓表面上光刻膠的均勻覆蓋。然後用熱板烘烤施加的光刻膠，將其牢固地固定在基板上。然後,光刻膠系統用包含所需圖樣的光掩模照亮基板。一種特殊的照明機制確保了面罩的最佳輻照度，並簡化了過程。一個集成的VUV照明設計為最大的穩定性和最佳的圖像精度代表了單位的重要組成部分。將基材暴露後，機器用一種特殊類型的溶劑沖洗掉不需要的光致抗蝕劑。這通常是使用汽化的碳氫化合物浴來完成的，這個過程稱為RIE（反應性離子蝕刻）。然後開發出裸露和洗滌過的基材。使用專有的顯影液除去任何剩余的光致抗蝕劑。該工具經過校準，以確保晶片的均勻發展，並消除殘留物的形成。晶圓一經研製，便轉移至乾燥模組。此模塊使用主動幹燥工藝,允許光阻劑在表面上均勻且一致地分布。幹燥階段是保持模式和實現高產所必需的。TEL MARK7光致抗蝕劑處理資產是創建高精度和高產納米光致抗蝕劑圖樣的重要工具。它可靠、性價比高，采用尖端技術使其成為許多半導體企業的標準工具。