二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9409177 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7光抗蝕劑設備是一種在半導體晶片上處理光抗蝕劑薄膜的全自動、高精度系統。利用先進的控制單元和專有算法對薄膜材料進行高精度的處理。該機具有精密薄膜應用臂和激光光學高分辨率掃描裝置，可檢測沈積薄膜厚度並分析厚度分布。它還提供溫度控制功能，以確保膜厚度和溫度一致。光敏工具可以分兩步將薄膜處理到晶片上。第一種是薄膜塗層，其中薄膜材料通過應用臂在單個通道中沈積到晶片上，然後是光致抗蝕劑處理步驟。采用激光高分辨率掃描裝置，分析了薄膜的厚度分布，並相應地調整了沈積。然後可以檢測沈積膜的厚度，分析厚度分布，然後再將光敏材料轉移到晶片上。資產還包括提供薄膜材料一致處理的溫度控制功能。此功能可用於確保整個加工過程中薄膜厚度和溫度均勻。溫度控制對於獲得穩定、高質量的薄膜非常重要。薄膜層使用放置在晶片上方的光刻面膜進一步處理。然後使用高功率激光器開發光敏材料。這一過程之後是塗層步驟，其中晶片暴露在溶液中，使光致抗蝕劑材料有選擇地去除晶片上不需要的材料。模型還可以通過蝕刻來處理薄膜,在這種情況下,不需要的材料會從晶片上蝕刻出來。此外，還可以對微觀特征進行細間距分析。TEL MARK7光刻設備對半導體晶片上的薄膜進行可靠、準確的處理。它配備了先進的控制系統和專有算法，可以對薄膜材料進行一致、高精度的處理。通過溫度控制，保證了薄膜厚度和溫度的均勻，提高了加工穩定性。此外，該單元還可以方便地進行精細螺距分析，能夠檢查晶圓上的微小特征。