二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9410903 待售

ID: 9410903
Coater / Developer system.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7光抗蝕劑設備是為工業和學術應用而設計的最先進的光致抗蝕劑系統。該裝置能夠高效生產微電子器件。TEL MARK7機由先進的鏡頭設計、3 D投影光學元件和可支撐70 mm基板的大活動區域組成。這樣可以將圖樣高度精確地打印到抗蝕毯上。該工具的光學特性是經過彩色校正的半月板透鏡設計,具有擴展的數值光圈。這樣可以減少像差,減少在基板上打印薄紋時的失真。該資產還配備了高功率激光二極管,該二極管采用窄光纖模型為投影儀鏡頭提供照明。這種方法允許更高的光能吸收,從而提高印在基板上的圖案精度。TOKYO ELECTRON MARK-7設備設計靈活,能夠處理各種基材尺寸和厚度。它的對齊機制允許精確的模式與最小的浪費。它的垂直模組高度可以很容易地調整,允許在單個基板上鋪設多層圖案。另外,其相機系統根據打印質量自動調整。最後,該單元具有高度模塊化,便於安裝和維護。它具有直觀的用戶界面和易於使用的前面板,使操作員能夠在開始批量運行之前快速設置和校準機器,使其符合所需的基板尺寸和質量。Mark 7 Photoresist Tool為工業和學術光刻膠應用提供了可靠高效的平臺。其先進的光學和鏡頭設計,加上直觀的用戶界面,提供了高度精確的圖樣打印到各種尺寸的基板上。TOKYO ELECTRON MARK 7型具有自動攝像資產,模塊高度可調,維護方便,顯然是高精度光刻膠生產的一種非常有效的解決方案。
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