二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 2D #9290537 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 2D
ID: 9290537
晶圓大小: 6"
Coater / Developer system, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8 2D光阻設備是一種化學、機械和光學系統,用來製造圖樣和結構,作為各種基板上集成電路的基礎。該設備具有創建多個曝光層和對其創建的模式的精細結構進行多層次控制的能力。機器的核心是紫外線激光成像儀,能夠對基板表面進行超精確的改變。激光成像儀與可編程相移掩模耦合,可控制抗蝕劑材料在基板上的蝕刻和沈積。組合後,這些元件允許操作員使用光刻工具精確控制在基板表面上形成的圖案的幾何形狀。為了進一步最大限度地控制制圖過程,TEL Mark 8 2D光刻資產還包括兩個精密計量系統----一個接觸接近顯微鏡和一個全表面圖樣檢查器----每個系統都能夠在微米範圍內進行測量。這使操作員能夠在完成之前、期間和之後準確看到其光刻膠圖樣制作過程的效果。此外,該模型還包括通過物理處理或使用單獨或多種不同材料將額外的抗蝕劑層沈積到表面上的能力,以便創建更高級別的細節或有選擇地使表面變硬。這允許操作員產生具有不同復雜程度的結構,從簡單的線條和曲線到復雜的模式或設備。而且,TOKYO ELECTRON MARK 8 2D光阻設備還包括一個圖樣幾何經紀人和一個運動學建模者,這兩者都為操作者提供了對光阻圖樣制作過程的變換和渲染方面的高度控制。3D建模器還允許操作員在短時間內創建多個復雜的模式。歸根結底,Mark 8 2D光刻膠系統是一個全面可靠的單元,能夠以高精度產生各種錯綜復雜的圖案。通過機械、化學和光學組件的組合,機器一定會為操作員提供最終的控制,為其電路設計創建所需的模式。
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