二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 3C #9290536 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8 3C是TEL製造的光刻膠設備，用於半導體器件製造。該系統既是塗膜器又是顯影劑，用於在半導體晶片上生成光刻膠圖樣。該單元配有一個步進器，用於引導晶片通過該過程。步進器配有對齊卡盤，以確保晶片在過程中的準確定位，並配置為從標線轉移對齊信息。曝光時間可以根據需要而變化,掃描鏡像可用於特定型號,以提高工作效率。該機器有一個內置的氣體輸送工具，可以根據所使用的特定抗性化學而量身定制。它能夠供應惰性氣體，如氮氣或六氟化硫，用於抗蝕劑去除，以及氧氣用於等離子體清潔。該資產還可用於加工其他光掩模基板，如玻璃、石英和金屬。該模型有一個集成的CR旋轉臂，用於在晶片表面施加光致抗蝕劑。手臂能夠均勻覆蓋被光刻膠覆蓋的晶片，同時避免塗抹和匯集抗蝕劑材料。它與廣泛的光刻膠兼容，具有電動調節和精密的微量滴定泵。該設備還具有用於控制和監控晶圓處理的PhotoMaster控制器。控制器能夠進行半自動和全自動操作並存儲工藝配方。PhotoMaster控制器還可以測量和顯示曝光劑量。TEL Mark 8 3C光刻膠系統為高精度、高通量的光掩模陣列提供了先進可靠的工具,能夠穩定、經濟高效地制造半導體器件。它是光掩模生產過程中的一種有價值的工具。