二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #293626805 待售

ID: 293626805
優質的: 1997
Coater / (2) Developer system 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8光刻設備是一種用於生產半導體電路元件的光刻系統。它配備了集成的控制、先進的診斷和監控,以及一個先進的自動化單元,以確保每個生產的準確性和可重復性。機器有一個用戶界面,可以用來方便地操作刀具參數。該資產的設計目的是使光刻膠材料(特別是光刻膠薄膜)暴露於紫外線輻射中,而紫外線輻射與光掩模圖樣相結合,以確定設備上的圖樣。這種工藝通常用於成像和蝕刻精線光刻設備。它還有一個無掩碼對準模型,設計用於在曝光過程中水平對準晶片,提高良好設備的產量。TEL MARK8 Photoresist Equipment擁有2.3微米至3.8微米的高光學分辨率,給人以高精度的曝光光敏膠膜特徵。它還能夠以8倍或更快的速度對設備進行陣列設計,從而縮短處理時間。它還可以支持6英寸和8英寸晶圓尺寸。系統還有一個粒子探測器來記錄單元外的缺陷或環境條件。這樣做是為了保持其性能並延長設備的使用壽命。它還具有特殊的光學器件,以盡量減少其排氣,防止在曝光時對膠片的汙染。TOKYO ELECTRON MARK-8 Photoresist Machine還有一個專門設計的自動對焦工具,用於自動調整鏡頭的對焦長度,以獲得更好的性能。它還具有自動劑量機制,可自動調整底物每一層的輻射劑量。這樣可以確保將適量的能量施加到每一層的基板上。此外,TOKYO ELECTRON MARK 8 Photoresist Asset擁有高度精確的晶圓級和提供可重復可靠性能的先進軟件工具。這確保了生產結果的一致性和可重復性,為制造半導體器件的關鍵過程提供了更高的可靠性。總體而言,Mark 8光刻膠模型是半導體工業中光刻工藝的理想工具,為生產線提供了卓越的精度和可重復性。
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