二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #293657242 待售
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ID: 293657242
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
(1) Coater / (1) Developer system, 8"
Dual block
Coater: (4) Nozzles
Developer: Stream nozzle
Wafer flow: Left to right (CSB Unit left side and interface station right side)
Tank auto switch
Block 1:
FC-9821Ke Controller
Stage / indexer: Cassette station
Cassette Station Arm (CSA)
Block 2:
Normal photo resist coater 2-1:
(4) Photoresist dispense nozzles per coat unit
(4) Photoresist dispense nozzles and Iwaki Resist pump per coater
Side rinse nozzle (Programmable)
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8設備是一種光刻系統，用於半導體器件的光刻。光致抗蝕劑是一種材料，用於通過有選擇地允許光通過它在基板上形成圖案。TEL MARK8單元使用投影儀將光致抗蝕劑暴露在紫外線下，並使用工藝室溶解不需要的材料。TOKYO ELECTRON MARK-8是一個模塊化的機器，有兩個部分：曝光頭和過程室。The Exposure Head holds the projector, which is agained a advanced, UV敏感光學工具.它能夠以精確、精確的方向和投影圖案的大小傳遞短脈沖的紫外線。工藝室是資產的另一個組成部分，其設計目的是在曝光後溶解光致抗蝕劑。腔室被加熱並填充一種化學溶液，作為溶解光致抗蝕劑的催化劑。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8模型也可以調整為在不同溫度下處理不同的底物，使其非常適合用於各種半導體制造工藝。TEL Mark 8設備用戶友好,可以精確控制陣列制作過程。它有一個簡單的控制面板，允許用戶快速調整投影圖案的大小、方向和脈沖強度。此外，它還允許用戶輕松重復該過程，從而能夠快速準確地生產出大批量的IC。總體而言，TOKYO ELECTRON MARK8光刻系統是光刻工藝的可靠、強大、精確的工具。它簡單的控件和用戶友好的設計使用戶能夠快速準確地為其基板設計圖樣，使其成為任何半導體制造設施的寶貴資產。
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