二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #293680676 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一種最先進的光致抗蝕劑設備，用於通過光刻在半導體晶片上創建錯綜復雜的圖樣。該系統運行精度為75nm，公差為10nm，非常適合多氯聯苯等微電子行業的各種應用。TEL MARK8單元由主光阻單元、抗蝕劑曝光單元和基板制備單元組成。主要的光致抗蝕劑單元是機器的心臟，用於測量和施加在基板上的抗蝕劑。抗蝕劑曝光單元用於控制光刻過程中暴露於抗蝕劑的強度、位置和時間。基板制備單元用於確保基板在光刻過程之前得到適當的制備。TOKYO ELECTRON MARK-8工具設計用於各種可針對各種應用量身定制的抗蝕劑。它能夠通過使用其易於編程的高級抗拒控制系統來適應不同的抗拒類型。此外，它還與廣泛的照明源兼容，如激光、汞弧燈和熒光燈。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8資產還附有高級軟件套件。這包括用於監視照片蝕刻過程的軟件以及用於計算最佳曝光時間的軟件。此外，還可以對模型進行編程，以自動調整照明條件和抵抗水平，以響應基板和晶圓條件的變化。MARK-8設備是生產多種微電子工業元件的理想選擇。其先進的抵抗控制能力、與多種抵抗劑的兼容性以及容易適應不同光源的能力，使其成為高度通用的系統。此外，它的軟件套件為用戶提供了微調照片蝕刻過程以獲得最佳效果的能力。
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