二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #293690383 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8是由TEL Limited開發的光刻膠設備，主要用於半導體生產領域的晶圓製造。它是一個全面的系統，可以處理晶圓塗層、晶圓顯影和蝕刻等廣泛的光刻膠處理步驟。TEL MARK8單元具有直接驅動的「運動學驅動」塗層轉子,允許高精度、低缺陷和高工程屈服。塗層轉子的運動由具有運動主動定位機構的高速、高效、高穩定性的直驅電動機控制，用於精確、穩定的過程。機載溫度級監測確保了高質量和可靠的操作。它結合了先進的晶圓處理能力，這使得最佳的實際過程均勻性。該機器提供各種晶圓尺寸,如傳統晶圓和特殊晶圓類型,還支持多向布局,以滿足客戶的任何獨特需求。TOKYO ELECTRON MARK-8利用精細控制的優化工藝參數,可以處理光刻膠,精度± 1 μ m。其先進的基於算法的控制技術有助於在長期運行過程中保持穩定的處理質量和一致性。該工具使用傳感器控制的光學器件和驅動器位置控制,以確保晶片上的光膜一致且平整。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8也提供直觀的使用者介面，方便操作。它擁有用戶友好的菜單和圖形,具有允許一鍵處理的「配方」類型操作,大大簡化了操作。高度自動化的作業得到安全資產的進一步支持，以查明任何潛在的安全危險，並有助於確保安全、安全和穩定的工作環境。MARK-8是先進的半導體加工應用的理想解決方案，如接觸電鍍、碰撞和薄膜沈積。其缺陷率低，精度高，是生產先進半導體元件的可靠選擇。因此，TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8是業界使用最先進、最可靠的光刻膠系統之一。