二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #293751439 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8是為多層晶圓生產而設計的「光刻」設備。該系統基於三軸對準級，采用了最新的投影光學和編程光束去噪技術。TEL MARK8是一個高度可配置的單元,每家銀行最多可容納32個系統。TOKYO ELECTRON MARK-8采用多級通道系統,為高度復雜的應用和過程提供靈活的晶圓管理。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8利用自動掩蔽和板式卡帶機進行全圖樣抗蝕劑、PR掩蔽和蝕刻抗蝕劑的應用。該工具的高壓電源、集成步進電機和濾波器控制器也有利於頂級應用和工藝穩定性。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8旨在應對下一代光刻應用中快速原型制作和快速生產的挑戰。該資產利用尖端光學、過程控制和編程技術來實現卓越的投影、分辨率和模式可重復性。MARK-8的光管理設計效率很高,具有獨立的曝光室和激光二極管,允許用戶減少曝光時間並提供卓越的圖像質量。此外，該模型采用專用的光束去噪濾波器，允許用戶以最小的失真實現更緊密的模式保真度。TEL Mark 8還配備了多種安全功能，如自動間隙識別設備、自動比較系統和安全監視器。安全監視器確保設備在所需的操作窗口運行,並在檢測到任何故障情況或過量的顆粒排放時關閉。Mark 8提供了一個可配置的平臺,每臺計算機最多可執行8項任務,一個盒式磁帶中最多可執行4項任務。利用這些功能,該工具可提供無與倫比的工藝效率和可重復性級別,提供滿足下一代光刻需求的理想平臺。