二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #293761366 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8
ID: 293761366
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
Developer system, 8" (2) Spin units (6) Hot plates (2) Cool plates Loader type: Index Process type: L-Type (2) Develop spin unit (Spin chuck: 80Φ) Develop unit: Stream nozzle, Top rinse, Back rinse 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一種為了處理半導體層形成和器件製造而設計的光刻膠設備。TEL MARK8使用計算機控制的系統來優化光刻膠的光照和層形成過程。該單元集成了光源、光刻膠和光照控制、用於成層和晶片對準的光學機器,以及用於從刀具裝卸晶片的自動卡帶到卡帶處理程序。TOKYO ELECTRON MARK-8上的光源能夠提供範圍廣泛的光強度,從極低到極高,從而能夠精確控制晶圓光的暴露。光學資產也集成到單元中進行層成形。該模型使用高分辨率級成像相機檢測晶圓並將其對準層形模具組。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8的Cassette-to-Cassette處理程序通過支持大多數標準的Cassette尺寸,允許從設備自動裝卸晶片。TEL Mark 8還具有高級光照控制功能,能夠精確控制晶圓上的光照模式。這款高級光照控制集成到MARK8系統本身中,使用戶可以預見地控制每個模具的光照強度和曝光時間。它還擁有一個具有實時數據采集和顯示功能的過程監控單元,使用戶能夠在必要時對機器的光照參數進行即時調整。綜上所述,MARK-8是一種可靠高效的光致抗蝕劑工具,能夠精確控制層層形成和器件制造過程,從而生產出高質量的半導體器件。先進的光照控制、晶圓對準的光學資產以及自動卡帶到卡帶處理程序確保使用TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8可以達到最高精度和速度。
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