二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9090357 待售

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ID: 9090357
(2) Coater / (2) Developer System Inline Main Controller: ELX-286 CSB PRB1 PRB2 IFB Transformer (AC) T & H Controller #1 Chemical Box #1 Chemical Box #2 External Controller Rack.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是半導體工業中使用的一種光阻設備,用於陣列集成電路。它是一個完全自動化的系統,能夠沈積、暴露和開發一系列不同的抗蝕劑。TEL MARK8包括一個容納抗蝕劑和其他要仿制材料的房間。該腔室與晶片級相連,晶片級在制圖過程中保持晶片。抗蝕劑和材料通過垂直噴射器裝置引入腔室。然後使用平面沈積工藝將它們分布在晶片表面上。如果需要,還可以使用旋轉塗層方法分發材料。一旦抗蝕劑和其他材料在晶片上就位,TOKYO ELECTRON MARK-8就準備開始其光致抗蝕劑圖樣制作過程。此過程從將晶片暴露於紫外線光源開始。光源的強度是可調的,允許在晶圓表面上創建不同的圖樣。曝光可以奇異完成,也可以組合多個曝光,形成更復雜的模式。暴露後借助溶液開發抗蝕劑,必要時可使用溶劑剝離晶片表面的任何殘留物。這留下了MARK8所創造的精確模式。TEL Mark 8創建的模式可以用來創建高效的集成電路設備。TOKYO ELECTRON MARK8是一種高度可靠、精密的機器,也易於使用和維護,對半導體制造商來說是一個有吸引力的選擇。它可以使用各種各樣的抗蝕劑和材料,並且能夠創建復雜的模式,適合用於創建高級集成電路。
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