二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098383 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一種光阻處理設備，設計用於在半導體晶片上創建精密微電路。它允許精確控制光刻膠層的曝光、擴散和蝕刻，這些層用於在半導體芯片上繪制非常小的器件圖案。TEL MARK8由光掩模組成，用於將光刻膠膜暴露於紫外線下形成光刻膠形狀。接著是兩個擴散爐，將暴露的薄膜煮熟，溶解掉未受保護的區域，並形成所需的模式。TOKYO ELECTRON MARK-8還包括兩個將圖樣蝕刻到底層基板的系統。第一種允許對深溝進行蝕刻，通常用於創建接觸墊和其他深層電氣結構。第二個蝕刻掉光刻膠薄膜本身，從而將底層底物暴露在所需的位置。光致抗蝕劑系統的其他特點還包括化學和機械洗滌單元在抵抗沈積前去除顆粒，一個去離子化的水浴，以及兩個單元在加工後檢查裝置圖樣。第一個是顯微鏡附件，它允許用戶以高放大倍數檢查圖樣，第二個是電氣測試儀，它在設備上施加電壓，以確保其正常工作。總之，MARK8是一個綜合性的光刻加工機器能夠創建精確的微電路設備，嚴格控制曝光，擴散，和蝕刻。該工具是全球現代芯片制造廠的重要組成部分，其可靠性和準確性對於制造高質量半導體元件至關重要。