二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098384 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一款設計用於半導體加工的先進光刻設備。它能夠蝕刻和沈積，以及正面和負面的抵抗模式的過程。光致抗蝕劑在集成電路（IC）制造中是必不可少的，因為它們允許在矽片上制造形狀精確的器件結構。TEL MARK8具有最先進的成像和陣列系統。其生產采用高效蒸發器和自旋塗料。蒸發過程允許精確的溫度和氣相沈積控制，而自旋塗層提供均勻一致的抗蝕塗層。該機組還配備了用於自動晶片運輸和處理的高級級機器，以及調節主動蝕刻劑強度的可調雙極電源。這種精確度使得它能夠在最深處的井中蝕刻和沈積材料。該工具還因其尖端光學元件而具有1微米的高檔分辨率。此特征可確保晶片上的精確幾何形狀。此外，TOKYO ELECTRON MARK-8還包含一種優越的濺射速率控制資產，可在加工過程中產生高性能的細顆粒薄膜。這有效地產生了具有不妥協的層對層粘附的高密度圖樣。TOKYO ELECTRON MARK8是專門為高級和重型應用而設計的。它可以制造低至50 nm的圖樣,精度級別為0.5 μ m。它的自動化晶片處理能力和精確可調的雙極電源使得它非常適合高精度半導體的大批量生產。此外，其優越的濺射速率控制使得它能夠有效地在最細膩的基板上產生深蝕刻膜和形狀。Mark 8以其卓越的精度、精確度和吞吐量相結合,是為滿足最苛刻的半導體制造需求而設計的高端光刻膠模型。