二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098390 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8（TM8）是一種光刻設備，設計用於光刻工藝。光致抗蝕劑是一種對光敏感的聚合物。TM8利用光源將圖樣暴露在基板上，然後將抗蝕層沈積到所需的區域。該TM8是一個自動化陣列系統，利用先進的設計，能夠自動化處理的準確性和可重復性一微米以下。該單元利用三個階段的模式-曝光前、曝光後和曝光後。預曝光階段利用階段移動機器將晶片從盒式磁帶移動到刀具內的對準單元。對準資產使用激光來確保晶圓在曝光過程中的精確定位。曝光階段負責將光源投射到基板上。該TM8利用高強度紫外發光器對晶片進行成型，獲得高通量的對準精度。光致抗蝕劑在曝光過程之前施加，然後光激活所需區域內的抗蝕劑材料。曝光後階段由烘烤模型組成，用於幹燥光刻膠層。烘烤設備還提供了層的硬度。此後,將註冊抵抗劑以執行進一步的處理步驟。總體而言，TEL MARK8是一個強大的光刻系統，旨在為光刻應用提供強大而精確的圖樣。它的自動化功能提供了快速可靠的曝光過程,同時提供了可重復和準確的結果。TM8可以處理直徑達300毫米的晶片。該TM8是半導體制造商和集成電路制造設施的一種經濟高效的工具。