二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098391 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一款創新的光阻設備，旨在為半導體生產提供更高的精度。該系統采用自動曝光控制和先進的激光技術來實現精確的精度，從而能夠開發出更加復雜的設計和結構。TEL MARK8是一種先進的幹蝕刻裝置,其暴露室集成在自動化工具中。此解決方案最多支持八個步進,並允許創建復雜的過程以進行高精度半導體生產。TOKYO ELECTRON MARK-8作為一個完整的機器出售，包括步進器、光刻器、可編程邏輯控制器（PLC）和腔室等幾個組件。PLC控制蝕刻過程中的所有事件,包括過程優化。該工具提供了多種功能，以提高過程的準確性和精度，包括模式識別、曝光評估和過程參數優化。該資產中的光刻膠旨在確保蝕刻圖案的精度和質量始終很高。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8憑借其高端光學型號，如其高品質的透鏡和精密的光束輸送設備，能夠實現極高的CD（臨界尺寸）控制。使用的光致抗蝕劑為大曝光面積提供了更高的精度，提高了均勻性和高分辨率。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8還有一個可編程邏輯控制器（PLC），設計用於提高蝕刻過程的精度和速度。PLC能夠保持對蝕刻過程的實時控制，可以進行編程以滿足特定的應用要求。光刻膠和PLC之間交換的結果輪廓信息使控制器能夠調整工藝參數並識別可能對蝕刻工藝產生不利影響的任何區域。此外,Mark 8的設計旨在集成到現有生產線中,並能夠與現有產品一起使用。這套系統也是為高速操作而設計的，能夠每小時蝕刻多達20個晶圓。結果是一個高效、經濟高效的蝕刻解決方案，支持高精度設備的生產。總體而言，TEL MARK-8是一種高性能的光刻裝置，為半導體生產提供更高的精度和精確度。這臺機器提供了一個集成的解決方案，包括曝光室，光抗蝕劑，PLC和步進使精密蝕刻。適用於多種應用，提供高速生產解決方案。