二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098395 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8光抗蝕劑設備是一種經濟高效且用途廣泛的蝕刻系統,旨在滿足廣泛的光化學需求。是生產集成電路、顯示器和其他微元件相關生產工藝以及介電膜、金屬電極和其他光刻材料應用的理想解決方案。TEL MARK8具有用戶友好、直觀的觸摸屏界面,使編程和對結果的監控變得快捷易用。此外,TOKYO ELECTRON MARK-8高效的工業級電動平臺和堅固的機械結構可確保提高生產率和一致性。Mark 8利用先進的電源控制和先進的直流蝕刻技術提供準確、可重復的結果。有兩種成像模式:低分辨率(LR)和高分辨率(HR)。這兩種模式的設計都是為具有高縱橫比的直流蝕刻提供高質量的圖樣。計算機控制的雙向切割技術也可用於高精度切割。TEL MARK-8配備了精確的光學對準單元,可確保創建清晰、準確的圖像。它與真空兼容的腔室允許它在廣泛的溫度和大氣層中使用。此外,該機器還配有防風罩,可保護防腐劑免受灰塵和空氣汙染物的侵蝕,從而確保更清潔的蝕刻效果。該工具具有較高的蝕刻基板通量,並配備了一種抗蝕劑填充資產,簡化了改變使用的抗蝕劑類型的過程。自動抗蝕劑調整功能可補償抗蝕劑類型之間的差異。該模型還旨在確保每小時加工基材的增加和更快的結果,使用戶能夠最大限度地提高產量和提高成本效率。最後,TEL/TOKYO ELECTRON MARK8附帶了一系列專有的軟件和設備控制套件,使用戶能夠根據自己的工藝需求監控、調整和修改操作參數。一些基於CDS的軟件應用程序(如工具助理)可用於模式檢查和校正。該系統還支持用戶定義的配方設置和庫數據導入/導出,以獲得更大的靈活性。TEL的TOKYO ELECTRON MARK 8 Photoresist Unit具有先進的特點、工業級的可靠性和精確度以及成本效益,是光刻材料應用的一種非常方便的解決方案。
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