二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098397 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一種光刻設備,用於半導體制造的光刻工藝。它用於在晶片上繪制薄膜層抗蝕材料的圖案,從而在基板上形成人工創建的掩模。光刻膠系統允許在晶片上精確放置井、圖樣或柵格,從而能夠產生非常精確的特征或裝置。TEL MARK8具有高速掃描光學單元和全伺服控制,允許非常精確的特征放置。它還具有區域密鑰掃描功能,使其能夠在晶片上精確跟蹤模式,而不會造成任何失真。它還有一個用於放大成像的高分辨率照相鏡頭。光刻機配備了先進的光刻工具,可進行高達20 µm分辨率的水平掃描,以及高達1 µm分辨率的垂直掃描。機器還可以處理一系列暴露劑量,從sub-nC/cm2到幾個mC/cm2不等。它具有集成的廣播資產,可方便多模式曝光。還有一個內置的ID模式識別模型,使機器能夠自動識別模式。TOKYO ELECTRON MARK-8光刻設備裝有晶片夾緊系統,將晶片固定到位,確保蝕刻過程的精度和準確性。該單元還使用戶能夠在單個晶片上執行多級蝕刻過程,使其適合生產復雜的電子設備。此外,計算機還為用戶提供了遠程診斷工具的訪問權限,使他們能夠從遠程位置監視進程,並在需要時進行必要的調整。它還具有一個旋轉的基板級,可以旋轉到180 µm,以便於在晶圓上曝光。TOKYO ELECTRON MARK8光刻工具為用戶提供了制造集成電路和其他電子應用的通用、準確和可靠的手段。它是尋找精確光刻結果的理想工具。
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