二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098398 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8光刻設備是一種高度先進的無掩碼光刻應用系統。它采用以二維發光二極管（LED）陣列為主要照明源和光學透鏡的新穎概念，精確聚焦LED照明。它能夠處理從幾微米到幾毫米的特征大小，並且可以輕松實現納米配準精度。它還能夠使用多種光刻材料，包括光學和電子束抗蝕劑，以及幹蝕刻和金屬化。該單元由幾個組件組成，包括一個包含光源和透鏡腔的光學頭組件、一個LED準直模塊、一個數字圖像投影模塊以及一個用於將光學器件和成像基板精確定位到工具上的對準機。LED陣列提供了將圖樣圖樣設計成抗蝕劑材料所必需的照明,並且能夠在具有廣泛工作波長的光強度下提供前所未有的線性水平。LED準直模塊采用電子驅動閥,可在直接照明和漫射光之間進行精確切換,從而實現更精細的特征覆蓋和曝光緯度。利用特殊的傳感器和成像軟件，可以精確對準LED陣列和基板，使對準精度超過一納米。數字圖像投影模塊用於控制圖像強度，通過多種設置，如脈沖寬度調制以及圖像的空間分辨率。此模塊還可用於放大或縮小成像區域，同時保留圖像的整體質量。該資產還具有一個對準模型，用於精確對準成像基板和LED陣列，從而實現高精度對準和高達一納米的特征配準精度。對準設備還利用各種探針和探測器測量成像基板和LED陣列在x-y-z方向上的位置，能夠準確地表征阻抗模式失真。總體而言,TEL MARK8是一個面向無掩碼光刻應用的高度先進的系統,具有獨特的陣列-LED準直單元和數字圖像投影模塊,可實現更高的特征密度和邊緣控制,極高的曝光精度高達1納米。它非常適合納米技術應用，在創建精確的圖樣和結構時需要高精度和精確度。