二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098400 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一種光致抗蝕劑設備，用於在半導體基板上創建電路模式。它既利用了光刻技術，也利用了蝕刻技術，允許在基板上創建有圖案的金屬線。光刻膠系統使用具有所需圖案的光掩模，然後引入到單元中。首先，基板塗有使用自旋工藝的光敏材料。然後通過光掩模將基板暴露在紫外線下。在此過程中,光會與光阻材料相互作用,從而改變其特性。曝光後，將底物在溶劑中沖洗掉，以去除未曝光的光敏材料或留下暴露的部分。光致抗蝕劑的裸露部分應保留，作為蝕刻的「模具」。然後采用蝕刻工藝去除暴露的光致抗蝕劑殘留區域內的基材。這將創建所需的金屬線陣列。然後加入金屬前介電沈積，是金屬線上的一層絕緣材料。這增加了設備的可靠性,並提供了蝕刻零件和基板之間的電氣連接。最後，必須先移除暴露的光致抗蝕劑，才能測試晶片。這通常是通過灰化或浸入顯影劑解決方案來實現的。TEL MARK8為在基板上創建金屬線的過程帶來各種好處。它消除了將暴露區域與底物未暴露區域分離的多步驟的需要，使整個過程更加高效和經濟。它還具有對循環線尺寸的精確控制,確保可靠的設備性能。綜上所述，TOKYO ELECTRON MARK-8光刻機是一種有效的工具，用於在基板上創建復雜的金屬線圖樣。它的自動化過程和精確控制確保了可靠的設備性能,使其成為電子界企業的寶貴工具。