二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098401 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8(TE TEL MARK8)是半導體工業中用於在半導體晶片上沈積厚膜的光刻設備。TE TOKYO ELECTRON MARK-8可以為廣泛的應用提供精確、自動、高速的解決方案,包括步進/掃描儀應用、晶圓探測和光刻。該系統設計具有卓越的機械完整性、出色的熱穩定性和極快的響應時間。TE TEL Mark 8由一個帶有清潔真空室的單元平臺、沈積源和隨附的電腦軟體組成。該機器設計為提供高真空環境,允許在真空室中將高質量、高密度的薄膜沈積在晶片上。這些源可配置用於不同類型的沈積過程,如熱束或電子束。利用計算機軟件對薄膜沈積進行精確控制,該軟件包括一個可編程控制器和算法來調整沈積過程的參數。TE TEL/TOKYO ELECTRON MARK8也有一個用於收集光譜數據的光學采樣工具,用於實時監控過程。這些數據用於確保沈積膜的均勻性和準確性,以及驗證沈積過程中的工藝參數。TE MARK8功能還包括內置溫度控制器和高級自監控資產,以便使工藝參數保持在精確的公差範圍內。這保證了沈積膜的質量和均勻性最高。該模型還有一個自動報警設備,可實時監控過程,如果參數不在可接受範圍內,則可以關閉該過程。TE TEL MARK-8已成功用於半導體行業的許多應用,包括晶圓探測、光刻和其他多種先進工藝。TE MARK-8具有自動化的控制、精密的沈積和高質量的結果,是各種工業應用的理想系統。
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