二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098643 待售

TEL（TOKYO ELECTRON）TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一款光刻設備，設計用於光刻工藝。TEL MARK8是用於制造半導體器件的微加工和微電子的光刻系統。該單元由掩模對準機、晶片級、光刻刀具和光學刀具組成。掩模對準資產包括兩個主要組成部分：控制舞臺運動的舞臺運動控制單元和晶圓對準單元。晶圓對準單元用於捕獲晶圓並將其對準掩模。此外,還使用編碼器模型實現二維對齊。這樣可以確保晶片精確對齊。晶片級執行將晶片物理傳輸到掩模的工作。該級配備了低慣性線性執行器、進氣通路、三相編碼器系統等運動控制機構。這些機制使晶片級的運動精確。光敏設備用於在晶片上塗上感光膜。TOKYO ELECTRON MARK-8設有化學供應單元、真空分配單元、氣體控制單元和加熱單元。化學供應裝置用於填充和重新填充罐中的化學物質，用於塗覆晶圓。真空分配單元用於在晶片上產生真空，使光致抗蝕劑均勻地施加在晶片上。氣體控制裝置用於確保無汙染的安全環境。加熱裝置用於將化學品保持在調節溫度。利用TEL MARK-8的光學工具使晶片暴露於光中。該工具配備了照明光學和成像光學。照明光學器件允許光線通過掩模並投射到晶片上。成像光學器件允許晶片成像以幫助對準過程。TOKYO ELECTRON MARK8配備了一系列尖端技術，以確保光刻工藝的精確度和精確度。器件級的精確對準和化學供應單元的精確控制，保證了光刻膠在晶片上的均勻可靠沈積。掩模對準系統和成像光學器件提供準確、高質量的成像。這些功能的組合為Mark 8提供了必要的工具來創建一些最先進的半導體器件。