二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9109448 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一款先進的光刻膠設備，設計用於提供高精度的圖樣，在曝光過程中具有精確的可控性。該系統能夠將薄膜層塗覆到半導體晶片上，用於晶片加工應用，包括光刻和蝕刻。該單元包括一個強大的步進器、一個自動控制器、一個光學成像機和一個電動級。步進器作為工具的心臟，配備了廣角和窄角透鏡，以提供光阻處理所需的照明角度。步進器還有一個電動晶片級和檢測器，能夠使晶片相對於光學資產精確對準，從而在微米範圍內實現精度。步進器還包括一個對準機構，它提供了最佳成像性能所需的3軸調整。連接到步進器的自動控制器提供所有必要的控制參數，如晶圓位置、步長大小、曝光劑量和曝光時間。有了這些參數，操作員就能有效地控制曝光過程，確保達到最佳圖像尺寸。TEL MARK8的光學成像模型包括一個具有大照明視野的DMD（Direct Mask Data）成像設備，允許投影光學器件快速準確對準。該系統可以進行調整，以適應單個光刻應用所需的各種曝光。最後,電動級允許設備移動到下一個晶圓位置,而無需手動重置設備。TOKYO ELECTRON MARK-8光刻機提供高精度和精確的可控性相結合，是晶圓加工應用的絕佳選擇。通過這種組合,制造商可以快速而準確地創建具有高分辨率圖像的晶片。反過來，這可以顯著提高晶圓制造工藝的生產率。