二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9115313 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8是半導體工業中用於晶圓光刻加工的光刻設備。該系統能夠處理200毫米至450毫米的基板,非常適合基於掩碼的和直接寫入的過程。該設備包括一臺設備齊全的清潔機，可用於在加工前清洗和沖洗基板。它有一個內置的基板輸入/輸出單元，使得它非常高效和易於使用。該工具使用了幾種不同類型的光致抗蝕劑，包括正、負和正/負。TEL MARK8使用步進器將基板精確移動到所需的位置,以及能夠在所有方向上旋轉、升高和降低以及基本縮放的晶片級。它還配備了八區氣體輸送資產，允許對工藝參數進行更高程度的控制，這在處理薄膜時特別有用。該模型有一個內置輻射源，由準分子激光器、離子源和掃描電子束源組成。它還有一個真空處理模塊，使蒸發、濺射和濺射沈積等過程成為可能。TOKYO ELECTRON MARK-8非常適合高密度互連形成、微米級模式形成和通孔光刻等應用。此外，它還能夠創建高級膜系統，如鈍化層、隔離層和光掩模。它擁有一個功能豐富的平臺，允許用戶執行所有類型的制造和加工要求總體來說，TOKYO ELECTRON Mark 8是一個非常可靠和先進的光刻設備，能夠處理各種各樣的基材和光刻，以及提供廣泛的特性和功能。它因其多功能性和易用性而在半導體行業中非常流行，能夠準確、快速地完成各種光刻工藝。