二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9158967 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一種閉環光刻工藝控制設備，專為生產半導體器件而設計。它由一套先進的控制算法組成，實時測量光刻膠化學濃度和溫度的狀況，用於晶片上光刻膠的處理。因此，該系統對光刻膠化學濃度和溫度提供了極其精確的控制和監測，這是最佳光刻膠開發所必需的。TEL MARK8包括兩個主要組件：控制單元和測量單元。控制單元由多個模塊組成，包括數據采集機、信號處理工具和數字控制資產。數據采集模型負責捕獲相關的傳感器信號，其中包括光刻膠化學濃度和溫度。信號處理設備執行數據分析和預處理任務，數字控制系統實施控制算法，根據需要對光刻膠化學濃度和溫度進行監測和調節。測量單元由安裝在腔室內不同位置的若幹探頭組成。這些探針負責測量光致抗蝕劑的化學濃度和溫度，以便使控制算法能夠有效地調整工藝參數。TOKYO ELECTRON MARK-8憑借其標準接口,易於集成到現有設置中。該機器還具有很高的可靠性，因為它對所有模塊和儀器進行嚴格的自我診斷，以及連續的數據分析，以確保光刻膠得到正確的處理。它還具有存儲數據以供將來分析的能力,從而可以輕松確保快速解決任何問題。總體而言，TEL MARK-8是一種先進的、可靠的光致抗蝕劑工藝控制工具，旨在為晶片上光致抗蝕劑的處理提供極高的精度。它具有先進的控制算法、存儲數據以供將來分析的能力以及較高的可靠性,使其成為半導體器件制造的理想選擇。