二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9159072 待售

TEL（TOKYO ELECTRON）TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一種光致抗蝕劑設備，設計用於能夠觀測快速變化的現象。該系統能夠在短時間內以高精度檢測和控制亞微米超細圖樣。利用掃描電子束曝光具有納米分辨率和光刻性能的感光膜。TEL MARK8允許在任何基板上創建多種圖樣，從聚酰亞胺等聚合物基基板到鋁等金屬基基板。它具有廣泛的分辨率,最高分辨率為0.2 μ m。該單元還具有X軸和Y軸高分辨率掃描的能力。TOKYO ELECTRON MARK-8能夠處理尺寸達200毫米的底物，在給定的鏡頭中可以處理0-400mm的深度。該機配備了一個用於基板均勻塗層的自旋塗層和一個用於精密級的多軸級，最大級速度為160厘米/分鐘（厘米/分鐘）。它允許各種應用,包括3 D陣列、投影毛細管和3D蒙版打印。這些特性使MARK8成為微電子和半導體工業中許多不同應用的首選工具。TEL Mark 8具有集成的曝光控制軟件,可輕松調整操作,以適應所需的曝光和基板尺寸。資產還有一個快速快門，可以將總曝光時間減少22%。該模型采用高限監測，以提供關於設備效率的快速實時數據反饋，從而最大限度地提高工具性能。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8利用了一個全面的鏡內系統，將主光束精確地聚焦在物體表面上。這個單元還有一個向內看的攝像頭監控，以確保光束正確聚焦在基板上。內置校準機為用戶提供了方便的設置和快速的工具準備時間。除了TEL MARK-8，TEL/TOKYO ELECTRON對用戶有活躍的售後照顧和支持計劃。它們為資產提供快速可靠的服務和維護,並提供軟件和硬件升級。該公司還提供培訓和文檔服務,以確保用戶充分利用其TEL產品。