二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9170457 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一種光刻設備，用於生產微電子元件的光刻蝕刻。該系統用於半導體、太陽能、汽車、電信等不同行業的多種應用。這種先進的光敏裝置有兩個主要成分；成像和模式生成機（IPG）和塗層/顯影工具（CODS）。IPG是一種圖像生成和處理資產，能夠產生用於微電子元件的高分辨率航空圖像。它包含一個具有可編程單元和抖動圖樣的高分辨率圖像生成器，可以調整圖像的大小和形狀來精確描繪組件。處理器分辨率為10µm，圖像尺寸為100 µm。CDS負責應用和去除光刻膠。它配有一個化學罐和兩個蒸發室，負責用一層薄薄的光刻膠對組件進行化學預塗。這種抗蝕劑覆蓋了整個組件,並遮擋了不打算蝕刻的區域。在開發該組件時，CDS采用了一種稱為「化學放大」的技術，通過直接影響光刻膠的物理性質提高精度和速度。這一過程利用了化學、熱和光的獨特組合，使光刻膠能夠精確覆蓋元件，並以最高精度創建圖樣。這種先進的光刻膠模型提供了高精度和可靠的生產微電子元件。它的分辨率為10µm，圖像大小為100 µm，能夠產生復雜的圖像。IPG和CDS系統的設計是為了協同工作，以精確地應用一層薄薄的光刻膠和開發組件。這樣可以更快、更準確地生產微電子元件，從而減少成本和生產時間。通過使用這種光敏設備，可以高效地生產出更精確和可靠的零件。