二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9180753 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一種光阻設備，用於在剛性和柔性基板上創建集成電路。它基於先進的光刻技術，利用光將圖像繪制到薄的抗蝕層上。光線由高精度、可變聚焦光學系統投射，並使用多個軟件和硬件組件進行控制。該單元支持多種前端光學功能，包括高級叠加、遠心成像、長深度成像和大體積參數控制。機器還包含一個用於實時優化過程參數的自動構建過程引擎，並提供下線檢查功能。TEL MARK8的集成電路抗蝕塗層比其他光刻系統具有更高的精度和質量。它還能夠處理更大的基板，並且可以處理尺寸高達650mm的基板。它的高精度和快速的基礎極大地促進了極高速度和精度的集成電路的生產。此外,其先進的結構不平衡檢測技術使刀具能夠處理復雜的3D結構並提高生產速度和精度。資產還支持基板相關參數集,以實現最佳成像,為抗蝕塗層工藝提供多種選擇。該型號采用高速、高效的自動曝光和開發設備。該系統保證了極高的精度和可重復性，是過程優化的理想選擇。它還支持多重曝光和開發模式，如孔徑控制、區域選擇性和全場成像。TOKYO ELECTRON MARK-8也有一個晶圓等離子體燒蝕單元，可以用來去除抗蝕膜。這臺機器使TEL MARK-8適用於涉及薄膜層的應用,如MEM。TOKYO ELECTRON MARK 8具有廣泛的嵌入式控制技術。它有一個高速控制工具，允許精確的襯裏，磁帶定位，和陣列。它還支持千兆以太網、CAN總線和SPI等高級通信協議。這樣就可以將資產無縫集成到現有生產線中。Mark 8的設計符合安全和可靠性的最高標準。它有一個自動化的自我診斷模型，可以檢測故障並在需要時進行維護。設備還提供詳細的報告和數據進行分析，使工藝優化比以往任何時候都容易。MARK-8還包含一系列安全功能,可確保最佳制造性能和可靠性。