二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9194264 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一種光致抗蝕劑設備，用於在廣泛的基板上開發抗蝕劑，包括電子和電氣元件。該系統能夠處理尺寸在1-500mm x 0.1-6mm之間的基板,並具有高達每分鐘7秒的高分辨率和陣列吞吐量速度。這個單元使用最先進的光刻技術，有多種應用可用於各種材料和尺寸。TEL MARK8具有三層流程,可提供更大的靈活性和更高的陣列設計準確性。頂層是金屬層，為基板提供抗蝕劑的主要特性。中間層是一個半導體層，負責在抗蝕劑中獲得所需的圖樣形狀。底層是在基板處理時防止短路和泄漏的介電層。該機提供了開發具有不同類型曝光的抗蝕劑的靈活性，從開發精細球線型的理想曝光柔軟到開發適合表面安裝元件的硬曝光。光刻膠工具還具有獨特的自動曝光控制資產，使具有精確特性的抗蝕劑得以發展。光刻膠模型的設計考慮了大批量的生產過程。它具有一個基於輸送機的高度自動化的設備，用於去除基板上的塗層殘留物，以及用於清潔基板和用光刻膠塗覆基板的各種選擇。此外，系統還有一個集成的嵌入式圖像捕獲單元，可以在塗層前後檢查基板。TOKYO ELECTRON MARK-8是一種可靠高效的光刻機，適用於廣泛的用途。開發該工具的目的是使用大批量生產過程,與其他同類系統相比,它具有更高的靈活性、準確性和速度。無論是需要開發高分辨率的微電路，還是簡單的清潔塗覆電子元件，TOKYO ELECTRON MARK 8都將確保工作做得對。