二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9215817 待售
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ID: 9215817
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
(2) Coater / (2) Developer system, 8"
4 HP
(4) CP
(3) DHP
(3) 2-1 RRC
EBR Stepping
(2) 2-2 RRC
DEV Flowmeter digital type
E2
I/F NIKON
THC
C/B (3L x4)
LtR
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一種光刻設備，利用先進的光刻技術，方便將電路或其他錯綜復雜的圖案和形狀蝕刻成矽或金屬等基材。具體而言，TEL MARK8光致抗蝕劑系統可用於將基板絕緣以防止蝕刻，具體做法是只允許對基板的選定部分進行蝕刻，並使用光致蝕劑層保護基板的其他部分免受化學蝕刻過程的影響。TOKYO ELECTRON MARK-8光致抗蝕劑單元涉及一個兩步過程，首先是在基板上沈積一層非常薄的光致抗蝕劑。在使用光致抗蝕劑之後，MARK-8臺機器將光致抗蝕劑暴露於預定波長的光下，從而導致光致抗蝕劑內部發生化學變化，使其能夠根據光致蝕劑塗層的厚度進行抗蝕性或允許蝕刻過程。隨後在基板上進行圖樣蝕刻，采用高精度光束聚焦，這是由於光刻工具采用了最先進的技術MARK8可能的。即使采用復雜的圖樣和形狀（如集成電路和微電子器件中的圖樣和形式），基板材料也能得到很高的保護，免於蝕刻。此外,TOKYO ELECTRON MARK8資產為用戶提供了光刻膠解決方案中的多種選擇,使用戶能夠精確定制其應用程序以獲得最佳效果。總而言之，TEL/TOKYO ELECTRON MARK8是一種頂級的光刻膠模型，它允許將復雜的圖樣和形狀精確蝕刻到矽或金屬等基板上。光致抗蝕劑沈積和光照的兩步過程導致了光致蝕劑層的化學轉化，允許或防止蝕刻，而TEL Mark 8先進的光束聚焦能力確保了蝕刻過程以極高的精度進行。Mark 8以其廣泛的光刻膠溶液，是尋找可靠、高精度蝕刻其基板的用戶的首選。
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