二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9216917 待售

TEL （TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8）是一種先進的光刻系統,提供最新的光刻實用程序。憑借其可配置的波前校正能力，該系統能夠在半導體晶片上產生高度精確的圖樣。自動化操作有助於對齊叠加、叠加完整性測試和自動對焦。TEL MARK8還為步進輔助模式生成提供支持，能夠微調子分辨率網格，這對於半導體行業的微處理極為有用。TOKYO ELECTRON MARK-8配備了兩個照明器，主照明器，和OPT模式。主照明器允許各種石英、石英鹵素、漫射和激光照明源用於高分辨率抗蝕劑。OPT模式具有一組專門的光源，提供整個晶片的圖像光，比主光源更高的效率和均勻性。TEL Mark 8為開發和傳輸光刻膠圖案提供了多種選擇。利用其精確成像套件，圖樣可以直接發展成光刻層，從而消除了對預鍍步驟的需要。此外，正或負光致抗蝕劑可以通過基板轉移套件從主抗蝕劑層轉移到底層基板。TEL MARK-8提供了一系列功能來促進流程優化。優化能力的例子包括優化曝光時間、可變曝光劑量和精確控制曝光半徑。該系統還提供可自由定義的除粒、半導體晶片清洗和自旋塗層工藝配方。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8為用戶留下了21世紀半導體生產所必需的高品質圖像。它不僅在光刻過程中對圖像進行光學微調，而且為用戶提供適應不斷變化的行業趨勢所需的靈活性。其自動化功能包括圖像重叠校正、叠加控制和光刻工藝優化。此外,MARK8的可調光源和圖像數據傳送技術使用戶能夠以卓越的吞吐量生成精確圖像。