二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9237072 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一款專為創造高精密微元件而設計的光刻設備。該系統利用一個獲得專利的原位掩蔽室來實現納米尺度特征的生成。對於涉及制造微機電系統(MEMS)和半導體芯片的應用尤其有用。TEL MARK8單元允許用戶精確控制抵抗模式的細節,允許創建準確的特征,同時最大限度地減少由於暴露對晶片的傷害。該機的最大分辨率為0.5 μ m,具有三軸龍門運動工具,可確保掩模和晶圓的精確對準。這有助於在抗蝕層中實現模式的準確定位。資產的核心是高功率寬帶激光源,它能夠快速、準確地曝光抗蝕層。這種激光源還有助於在整個生產過程中保持一致性,並且在必要時可以改變曝光參數,以產生高度精確的蒙版和晶片。此外,該模型還具有一個原位清潔模塊,旨在提高抗蝕劑的質量。除了掩蔽和晶圓清洗功能外,TOKYO ELECTRON MARK-8還為用戶提供了在制造過程中監視和維護腔室內適當條件的選項。這有助於確保最高質量的結果和快速的制造周期。總體而言,MARK8為用戶提供了創建微型組件的高效平臺。憑借其獲得專利的原位掩蔽室、強大的激光源等特點,是實現微制造最高質量的理想設備。它易於使用和控制,對於任何需要精密生產元件的用戶來說,都是一個極好的選擇。
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