二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9237074 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是為制造半導體器件而設計的高度先進的光刻設備。該系統采用高分辨率、高對比度的高級成像光學、先進的圖像分析算法和精確的阻擋傳送系統，使光刻工藝比傳統的光刻方法更快、更高效、更具成本效益。該裝置被設計成集成到各種光刻和蝕刻工藝中，從小規模的光掩模制造到大規模的生產作業。高性能光學和快速數據處理相結合的圖像處理使機器能夠提供精確的對準和快速的光敏曝光。它支持「step-and-repeat」和「overlay」功能,這些功能允許連續處理多個曝光字段,然後進行組合以提高模式精度。該工具采用的高級圖像分析算法采用復雜的照明技術，如傾斜照明，以提取高對比度的圖像，用於精確的曝光光抗蝕劑。TEL MARK8還可與先進的沈積資產結合使用,以實現高效的防腐塗層和圖樣設計,從而進一步提高其在高通量工藝中的應用。TOKYO ELECTRON MARK-8堅固的機械設計確保了一致可靠的性能。模塊化設計允許方便維護，模型可以適應不同的工藝要求。該設備的設計目的是提供較低的占用空間,從而降低系統的總成本。Mark 8除了擁有先進的光阻單元外，還支持先進的自動化和控制系統。此集成為客戶提供了控制光刻工藝各個方面的完整系統工程工具。集成自動化解決方案通過簡化不同光刻和蝕刻工藝之間的復雜交互,進一步增強了功能。綜上所述，TOKYO ELECTRON MARK 8是一款高度先進的光刻機，旨在促進光刻工藝的高生產率和成本效益。它提供高分辨率的成像和精確的阻擋傳送,以及用於集成過程控制的高級自動化和控制解決方案。