二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9237369 待售
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已售出
ID: 9237369
晶圓大小: 8"
優質的: 1999
(2) Coater system, 8"
Main controller version: 9821KE
CSB: (3) Loaders
COT (Coat process station):
3 Nozzles
(2) RRC Pumps
Solvent automatic supply: (2) Tank auto supplies, CCSS
Side rinse (EBR)
Back side rinse (BSR)
Dev solution automatic supply: Local
(6) LHP (Low temperature hot plate stations)
Chemical box
Temperature controller
T&H
C/S:
CRA Motor
Mapping sensor
Tweezer
Alarm tower
Display panel
Coater:
Chuck
ARM 1
ARM 2
COT Cup
Nozzle
Drain type: Factory direct drain
Coater:
Chuck
ARM 1
ARM 2
DEV Cup
Nozzle
Drain type: Factory direct drain
PRA:
Pincette
Sensor
Bake:
(6) HP Units
(4) Cool units
1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一種電腦控制的光致抗蝕劑設備，設計用於在矽片表面施加均勻的材料層。該系統由激光照射單元、光頭、采樣級和計算機控制機組成。激光照射工具包括泵浦激光二極管和泵浦激光腔。當將光信號應用於二極管時，激光器發出一束狹窄的紅外光，然後被送入激光腔，使信號進一步放大到原來功率的許多倍。然後將放大後的信號重定向出空腔並進入光頭。光頭包括幾個光學透鏡和一個分束器，它決定輸出光束的形狀和大小。樣品級用於保持晶片，並連接到一個計算機控制的資產，該資產協調舞臺和激光的精確運動。計算機控制的模型可以改變激光的曝光，這取決於所使用的光敏材料的性質。這種設備還可以改變光束的大小和形狀，以確保光刻膠的嚴密曝光。曝光後，光致抗蝕劑從晶片中取出，晶片準備進一步處理。TEL MARK8是一個高度先進的計算機控制的光刻系統，能夠在矽片上產生精確而均勻的層。該單元用於晶圓制造過程中，以便構建用於許多不同行業的復雜電路和組件。其精確度使其成為多種類型應用的理想工具。
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