二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9239619 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8光抗蝕劑設備是一種綜合性工具，旨在為半導體器件制造提供廣泛的功能優勢。該系統是一種先進的用於高速和高分子芯片生產的光刻膠（PR）處理解決方案。由世界領先的半導體設備供應商TEL制造的TEL MARK8是一種全自動光刻設備,設計用於193 nm和深紫外線曝光源。該機由一系列裝有一系列集成光化學元件的加工室組成。這些組件形成了一個全面的PR工具，能夠調節各種PR類型的清潔、塗層和曝光過程，讓用戶優化過程的重復性，減少周期時間，提高光刻膠產量。部署在TOKYO ELECTRON MARK-8平臺上的先進塗層解決方案能夠處理所有現有的PR過程，包括熱材料和納米材料。該工具旨在滿足高級研發和商業生產的需求,在14 nm或更低的特征大小下提供公關性能,同時提供快速的非反射和短周期時間。TOKYO ELECTRON MARK 8資產可以容納廣泛的PR特性，例如厚度範圍、折射率刷新率、溶劑的最大量和最小量，以及附著力。模型軟件能夠主動管理、調整和跟蹤每個設備優化過程所需的PR輸入。此外，該設備還提供了智能溫度控制算法、感光層的多層超薄膜控制以及卓越的汙染管理，從而延長了光刻膠的使用壽命。Mark 8還配備了健壯的計量系統，允許在過程中控制塗層均勻性，以及高速光化學過程所需的其他參數。該設備提供多個接入端口,允許廣域曝光和優化PR過程。它還為基板對準和光刻壓痕提供了可靠的精度。這允許用戶實現比以前更高的圖像分辨率和對比度。綜上所述，MARK-8 PR機是一種先進、全面、用戶友好的工具，旨在滿足半導體行業日益增長的需求。憑借其集成的光化學組件、卓越的溫度控制算法和穩健的計量系統，用戶可以放心，該資產能夠提供可靠且可重復的公關處理解決方案。