二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9275964 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一種光阻設備，設計用於半導體芯片制造中的電路圖樣。它使用UV光源在芯片基板上曝光感光膜掩模，在該基板上創建所需的電路模式。然後用化學顯影劑蝕刻暴露的光刻膠薄膜，去除不必要的材料，在底層基板上產生電路模式。TEL MARK8具有高分辨率激光源,能夠提供0.3微米或更高的線寬。TOKYO ELECTRON MARK-8的成像系統採用多柱投影單元，有數列，讓大部分線型都能夠準確快速地產生。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8可以使用種類繁多的遮罩形狀和圖案，而這些遮罩對於不同的襯底圖案可以快速、方便地進行更換。TEL Mark 8使用多種工具來幫助確保制造設備的最高質量。這些工具包括掃描電子顯微鏡，幫助掃描暴露的底物檢測缺陷。自動曝光控制允許自動修正曝光特性，確保曝光過程的高精度。自動對齊機使掩模與基板精確對齊，刀具可以在X或Y方向上輕松對齊。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8可用於廣泛的應用，如半導體邏輯、內存、模擬和功率IC。TOKYO ELECTRON Mark 8對制造工藝進行了嚴格的控制，提供了更小的線形尺寸和優異的光刻精度的高質量結果。光刻膠資產可靠、可重復、易用，是半導體制造的首選。
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