二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9276274 待售
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已售出
ID: 9276274
(2) Coater / (2) Developer system, 8"
Single block
Chemical cabinet
KOMATSU T&H Controller
Adhesion Process Station (ADH)
(2) Chill Plates (CPL)
(4) Low Temperature Hot plates (LHP) with hi-exhaust
(6) High Temperature Hot plates (HHP)
AC Power box
Temperature control
External chemical cabinet
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8是一款光刻設備,專為先進的半導體制造工藝而設計。該系統提供了一系列旨在提高整體流程性能的功能。它有一個19英寸的640 x 480 TFT彩色顯示器和一個內置的Windows NT操作單元。它能夠承載多個過程,如晶圓對準、基板映射和光阻自旋塗層。TEL MARK8配備了先進的光刻膠傳感器,可以精確測量沈積基板結構的臨界尺寸。它還提供了一個集成的機器,可以調節曝光時間進行逐層控制,減少模式缺陷的發生。此外,自動液體分配工具使用戶能夠執行自動旋轉塗層。機器的用戶界面易於學習和使用,降低了成本和學習曲線。該資產還設計用於各種大屏幕液晶顯示屏和用戶友好的圖形用戶界面的高效操作。該設備配有內置計時器,以減少曝光誤差,從而實現一致可靠的光刻處理。TOKYO ELECTRON MARK-8還具有內置的安全功能和訪問保護功能,可防止未經授權的人員進入機房。該型號還能夠在發生電源故障時自動關閉。此外,該機還設計了實時設備監控,以確保峰值性能。綜上所述,TEL Mark 8是一個光刻系統,旨在提高整體工藝性能。它配備了先進的光致抗蝕劑傳感器,以精確測量沈積基板結構的臨界尺寸。該設備還具有易於使用的用戶界面和各種大屏幕液晶顯示屏,以及一個用於減少曝光錯誤的內置計時器。它還具有內置的安全功能和訪問保護,以及在發生電源故障時自動關閉。
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