二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9276285 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一款設計用於半導體制造的光阻設備。它是一個在平版印刷過程中使用的技術系統，用於將形狀從制圖設備或標線轉移到晶圓上。TEL MARK8是這一代產品中最先進的光致抗蝕劑裝置,采用了幾種先進的技術來確保最可靠地生產到納米級的特性。這臺機器由兩個獨立的組件組成--一個光對齊器和一個曝光工具--這兩個組件都是由一個先進的計算機處理單元控制的。光對齊器利用激光掃描資產，用於創建分辨率非常好的20納米或更小的圖樣模板。然後將此模板送入曝光模型,該模型利用UV光源將形狀「燃燒」到晶圓上。TOKYO ELECTRON MARK-8配備了先進的軟件，可以控制過程的分辨率並確保對每個創建的特征進行質量控制。它使用分布式光學校正設備和多級陣列生成來實現對大量零件的一致精細分辨率。系統還可以調整曝光時間等工藝參數，以補償單元的光學失真。此外，TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8采用兩種不同的工藝--i-Line工藝和EUV工藝--進一步優化光刻工藝。i-Line工藝使用範圍在13.5到13.6納米之間的紫外線光源，創建尺寸非常細小的線條到3納米的結構。EUV工藝的特點是極紫外線光源，波長範圍為13.5納米，更短。這個過程創造出更精細的結構，分辨率為0.3納米。MARK8是一個先進的光刻機設計，使可靠和一致的生產半導體特性與納米級分辨率。它利用幾種獨特和先進的技術來創建模板，調整工藝參數，並優化光刻。該工具可以在i-Line工藝中產生分辨率低至3納米的特征，甚至在EUV工藝中產生更精細的0.3納米分辨率。