二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9280944 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是為生產半導體而設計的最先進的光刻設備。該系統能夠在晶片上生成非常高分辨率的圖樣，從而能夠制造出非常精細的電子結構。該單元使用電子束將晶圓上的敏感膜塗層暴露在光束上。該膜由最常見的由聚甲基丙烯酸甲酯、無定形二氧化矽和其他活性隔離材料組成的光致抗蝕劑組成。電子束與抗蝕劑相互作用，導致其改變性質。因此，晶片上的抗蝕層上形成了一個圖樣，可以用來構造電子器件，如晶體管。曝光過程從產生電子束的真空室開始。光束通過一個由柱子組成的機器，使光束在晶圓的厚度上被聚焦和控制。這是通過控制真空壓力、電子能級以及有助於控制光束的電弧電壓來實現的。曝光過程由一個電子控制單元調節，該單元既監控又調節曝光進度。此工具使用戶能夠輸入諸如曝光能級、阻擋高度和晶圓溫度等變量,從而使每次曝光都具有所創建電路的特定要求的最佳條件。資產配有晶圓處理單元，自動將基板裝卸到模型中。這消除了手動處理的需要,減少了損壞、汙染和錯誤對齊的可能性。整個設備是自動化的,這意味著除非另有需要,否則用戶無需在曝光過程中出現。最後,系統能夠分析、存儲和總結曝光結果。這使用戶能夠驗證是否符合預定的規格,從而提高電路配置文件的準確性。總的來說，TEL MARK8是一個先進的光刻裝置，為用戶提供了一個可靠而有力的手段，為各種應用創造高質量和準確的電路模式。