二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9280945 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是光刻工藝中使用的光刻設備。該裝置的設計目的是將一種光敏樹脂，稱為光敏樹脂，施加到一種基板上，如用於制造半導體電路的矽片。TEL MARK8光致抗蝕劑系統利用計算機控制的精密自動化單元，在晶片上應用均勻的光致抗蝕劑薄膜層。該機配備了高精度步進電機，精確定位基板的圓周運動。精確的運動可以防止光致抗蝕劑重叠,並確保整個基板的厚度一致。光致抗蝕劑用噴頭噴塗.步進電機的壓力通過噴嘴推動低壓體積的光致抗蝕劑，形成均勻分布在基板上的液滴。一個集成的自動清洗工具減少了噴嘴上的光刻膠在兩次使用之間的堆積，防止了汙染。沈積的光致抗蝕劑層暴露於經過專門設計以創建所需半導體電路的紫外線掩模中。曝光導致化學反應在曝光的光致抗蝕劑中發生，改變了原層中的溶解度水平。然後將該層通過曝光後烘烤（PEB）。隨著這一步的熱量，剩余的具有高溶解度的曝光光刻膠溶解在特殊的顯影劑溶液中，留下了未曝光光刻膠形成的硬化圖樣。TOKYO ELECTRON MARK-8能夠產生極其精確的結果，並且能夠創造出尺寸小至50納米的錯綜復雜的特征，使其適合用於設備制造。自動清潔資產減少了操作員的維護,從而使產品更加一致。MARK-8光敏模型是制造半導體器件的寶貴工具。