二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9305864 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是專為高分辨率、高精度光刻而設計的光刻設備。它提供了強大的功能組合,能夠高效生產復雜的集成電路,包括亞微米分辨率、先進的光掩模對準系統和擴展的曝光範圍。該裝置采用了最先進的抗蝕劑材料和工藝，以確保精確的特征定義，而預先烘烤的光掩模技術則確保了高性能的抗蝕劑。全場掃描機可確保精確對準和精確的光學曝光,而擴展動態範圍（EDR）功能可提供卓越的圖像保真度。TEL MARK8利用先進的步進工具來精確定義特征,並使用超精確的錨點對齊功能來精確定位亞微米特征。資產還包括用於精確對準和鏡頭對焦的自動對焦模型。此外，該設備還包括一套用於測量鏡頭性能和輪廓調整以及控制抗蝕劑輪廓特性和其他參數的工具和技術。系統硬件包括一個向晶片提供抗蝕劑的抗蝕劑傳送單元，以及一個用於控制對準和抗暴露的掃描控制單元，允許精確的特征控制。高清光學模塊包括12極鏡機，以及雙桿球形加熱器、紫外線發射器、激光點監視器、圖像查看器。集成協議生成器能夠完全控制和定制光刻過程中使用的參數，而應用軟件提供強大的數據分析功能。TOKYO ELECTRON MARK-8還提供多種模式的精密計量，包括亮場成像、掃描電子顯微鏡（SEM）、反射圖像分析和可變角度光散射法。所有這些計量技術都是實時提供的,並且在適合最苛刻的生產設計的體系結構和吞吐量級別上得到支持。總體而言,MARK-8光刻工具是一種功能強大、用途廣泛且可靠的機器,可提供卓越的性能和精確的特征分辨率。支持所有最先進的光掩模技術,並擴展了動態範圍,非常適合緊密陣列電路和大批量生產。