二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9314251 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8光刻膠設備是開發和制圖光刻膠的完全集成系統。它提供了業界領先的準確性和可重復性,即使是高長寬比的細膩結構也能實現陣列化。該單元結合了最先進的硬件和軟件組件，為圖樣化光刻膠處理提供了全面的解決方案。TEL MARK8利用具有精確線性驅動的電動級和高分辨率數字顯微鏡來實現光刻材料的精確定位和操作。這個階段可以精確地重復模式和動作，以增加吞吐量。該階段通過控制軟件進行計算機控制，簡化了工藝參數的設置和分析。該機還包括精密紫外線（UV）照射和光敏材料圖樣光學。TOKYO ELECTRON MARK-8具有一個多波長的光引擎與電動衰減器控制曝光劑量。輕型引擎還有一個可調節的準直儀，用於縮小曝光場，以及一個快門，用於爆破模式曝光。TEL Mark 8有一個集成的軟件包，其中包括用於控制曝光和光學參數的軟件，以及標準的可視化、算法、圖形和分析工具。還包括功能齊全的工作規劃、配方編輯和數據管理。該軟件的設計符合用戶的生產和研究需求。TEL MARK-8工具設計用於抗蝕劑、丙烯酸和其他感光聚合物等感光材料。它還與旋轉、噴霧、氣溶膠塗層等各種圖案技術兼容，可用於正負圖案。該資產的開發重點是過程控制、精度、質量和速度。這允許用戶在更短的時間內獲得更好的結果。所有這些元素結合在一起形成一個先進的光刻膠模型，能夠產生精確和可重復的模式，即使在納米尺度。Mark 8光刻膠設備為各種行業的研究和生產模式應用提供了理想的解決方案。