二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9314258 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8 PhotoResist設備是一種先進的成像系統，為光刻生產提供極致的精確度和精確度。該單元非常適合用於開發高性能半導體和平板顯示器應用。該機器由安裝在真空室上的高精度光學單元組成，光學單元包含RGB激光源、CCD成像工具和用於樣品加載和成像的運動臺。這種精密設備的組合使TEL MARK8能夠達到15nm的最大分辨率,在光刻方面提供了無與倫比的清晰度。該光學器件設計用於精確控制激光束的輪廓，在選定的波長下產生近乎平行的光束。光束角是可調的，以確保最佳聚焦和圖像的有效轉移到晶圓。CCD成像資產旨在捕獲分辨率高達15nm最大分辨率1.2倍的樣品圖像,提供光刻系統中從未見過的詳細程度。運動階段能夠同時控制樣品相對於激光的傾斜和旋轉，確保圖像完全轉移到晶圓上。此外，TOKYO ELECTRON MARK-8能夠產生多次通過的圖像，允許用戶對具有不同脈沖的光進行成像。這提供了在操作之間切換的靈活性,例如使用單個脈沖創建錯綜復雜的模式或生成交錯圖像以獲得更大的覆蓋範圍。此外，該模型還能夠執行蝕刻和脫漆等操作，以及處理雙層曝光或特殊黃光曝光等獨特的曝光模式。TOKYO ELECTRON MARK 8的精密光學、先進的成像技術和強大的性能能力相結合，使其成為半導體和平板顯示行業光刻工作的理想解決方案。該設備能夠為圖像提供高度的清晰度和細節,從而實現其他成像系統無法比擬的準確生產和結果。