二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9314262 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一款設計用於半導體電路板的光阻設備。它被用於制造晶圓和IC上的纖薄電路，以及用於掩蔽和光刻工藝。該系統旨在提供可靠、準確的分辨率以及高精度的配準。該單元結合了大功率紫外線源、光束幾何機和投影點，在晶圓上的高級層紋制作中提供精確的均勻性。該工具能夠以遮罩或平版印刷圖案的形式產生清晰定義的圖像。資產還包括一個控制器，設計用於提供一系列不同的控制模式，包括恒定時間、恒定電流等。控制器還可用於存儲和控制模型的各個方面，包括校準、預柵格控制以及附加的模式形成參數。設備連接到各種傳感器和其他設備，以提供廣泛的功能。例如，它可以用來測量每一層的焦點和對齊方式，也可以用來檢測每一層的抗蝕劑輪廓。此外,它還可用於記錄晶片表面的輪廓,以供以後查看。TEL MARK8設計用於支持多種光刻膠,適用於熱和離子束處理等多種處理。它還能夠進行蝕刻、沈積、退火等幾種後處理操作。該系統旨在提供卓越的吞吐量和精度，使其成為高端半導體產品的理想選擇。該單元還設計為易於操作和維護，並與各種現有工具和設備兼容。總體而言，TOKYO ELECTRON MARK-8光刻機的設計旨在簡化晶圓和IC上的纖薄電路的制造過程，提供精確的分辨率、高通量和優異的可靠性。是高端半導體產品的理想選擇。