二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9314983 待售

ID: 9314983
優質的: 1997
(2) Coater system No interface 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8光抗蝕劑設備是行業領先的可靠設計、開發和制造高品質集成電路的系統之一。它具有創新和多用途的特點,能夠以最小的廢棄量、最小的設置、周期時間和成本來制造復雜而復雜的設計。TEL MARK8有一個集成的高溫計和冷卻板,並有一個加熱的腔室,可以達到攝氏500至1000度的溫度。它還具有真空-紫外線極化光學系統,優化了光刻投影儀的極化和聚焦能力。這樣可以確保實現最精確的成像。此外,該設備在提供方便用戶的可調整和可重復的工藝參數方面也非常成功。這樣可以在很長一段時間內實現高度優化和一致的光刻工藝。TOKYO ELECTRON MARK-8還具有一個容量排水(CD)模塊,該模塊可監視和控制容納在室內的抗蝕劑的體積,從而實現一致和可重復的結果。此外,它的Photo Asher (PA) Module允許及早去除暴露的抗蝕劑和更無氧化的蝕刻工藝。Mark 8's Visual Inspection Machine (VIS)確保嚴密監控光刻結果以優化工藝。它可以用來檢測和去除晶圓表面的任何殘留物,以及在蝕刻前驗證圖案的完整性。該工具的Total Automation Asset (TAS)允許各種任務自動化,從而使用戶能夠獲得更高的吞吐量和質量。它支持數據驅動操作,以檢查光刻結果並確定優化工藝的趨勢。最後,MARK8的圖像傳感器模型旨在提供快速準確的數據分析,並使用戶能夠優化和微調設備條件,以確保高精度光刻。MARK-8光刻系統是一個強大而高效的工具,可以實現一致、經濟高效和精確的光刻。它的高級功能使用戶能夠以最低的安裝成本和周期時間開發復雜的設計,而其集成功能可確保精度並提高整體生產率。
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