二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9351474 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一種最先進的光致抗蝕劑設備，設計用於制造亞微米級的薄晶圓器件。該系統具有先進和精確的成像光學器件,可生成設備的聚焦和清晰圖像,從而實現一致、準確、幹凈的光刻對準。此外，TEL MARK8的亞一波長法能夠在亞微米範圍內的各種設備中產生復雜的模式。TOKYO ELECTRON MARK-8有三個主要成分：一個源輸入、一個光學投影單元和一個抵抗塗層機制。源輸入與各種激光源兼容，允許一系列計算生成的曝光剖面。光學投影機是工具的心臟，由紫外線光源、可編程光學掃描儀和成像物鏡組成。通過控制UV光束的時序和方向，這種資產可以在亞微米特征大小下生成高度精確的圖像。模型的抗蝕性塗層機構以極精確的水平將光致抗蝕劑分配到晶片上。由於這種精度，抗蝕層在整個設備上是一致和均勻的。TOKYO ELECTRON MARK8還具有幾個先進的技術特點。例如，激光掃描和曝光設備能夠進行實時曝光掃描，這是薄膜設備的理想選擇。它可以用於同時光刻和曝光操作，導致更高的吞吐量。此外,該系統還可以快速準確地分析表面缺陷和邊緣損壞,從而通過搶先清除任何損壞區域來降低後處理成本。綜上所述，TEL Mark 8是一種高度先進的光阻裝置，能夠生產精密的激光掃描設備。通過可編程成像光學器件、亞一波長法以及實時曝光掃描等附加功能，這臺光刻機具多功能光刻對準和耐塗層作業能力，精度高，通量高。