二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9364571 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8光刻設備是一種用於制造矽集成電路等小型結構的光刻系統。它能夠打印低至0.28微米的分辨率，允許生產尺寸最小的元件。TEL MARK8的光學單元以五元光學機器為基礎，由一個g線光源（波長為436 nm）、一個曝光透鏡、一個形狀校正光學工具、一個物鏡和一個包含主圖樣的標線組成。TOKYO ELECTRON MARK-8的主要組成部分是曝光資產，它由一個照明源、一個將光引導到晶圓上的曝光光學透鏡、一個照明窗口和一個圖像測量模型（EMS）組成。光源在435-438nm下產生節能激光器，然後通過曝光光學透鏡將其收集、準直並聚焦到覆蓋光刻劑的晶片上。然後將晶片放置在X-Y級上,以便沿x-y軸移動。為了保證準確的位置控制，采用磁感應測量設備和零偏轉系統的激勵。然後使用EMS單元檢查傳輸到晶片的光刻膠層的圖樣是否有錯誤。EMS機器使用電荷耦合器件（CCD）吸收從圖樣反射的光，並使用光學方法創建有限圖樣的虛擬地圖。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8工具使用自旋塗層、預烘烤、暴露於激光、後曝光烘烤、開發等工藝。一旦晶片被自旋塗層並預先烘烤，它就會從使用曝光光學透鏡聚焦到晶片表面的照明器源接觸到激光。曝光後，晶片經過曝光後烘烤，然後用甲醇或溫和的酸將曝光的光刻膠層去除，留下印在晶片上的圖樣。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8資產還包括許多安全功能，如防止光源長期暴露的快門釋放模型、增加阻燃聚苯乙烯內部結構以及使用含氮環境進行可變抗壓塗層。此外，晶片的放置和X-Y級的運動由裝在其控制櫃中的低壓控制電子設備控制。這些功能使TEL Mark 8能夠在制造過程和最終用戶使用過程中提供高度的準確性、更清潔的生產以及最小化的顆粒汙染。TEL MARK-8光阻系統是生產高精度和可靠的晶體管級電子器件的重要工具。