二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9364572 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8
ID: 9364572
晶圓大小: 6"
(2) Coater / (2) Developer systems, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8光刻設備是來自著名半導體設備制造商TEL的最新一代光刻系統。TEL MARK8光致抗蝕劑系統是同類設備中最先進的一種,它允許在各種基板上精確繪制復雜的圖樣。TOKYO ELECTRON MARK-8機結合了精密光學、先進化學加工技術和高性能機器人自動化等方面的最新進展,實現了無與倫比的精度、速度和重復性。TEL MARK-8資產憑借其高功率的照明工具以及對光掩模和晶片堆棧的自動處理,可以最精確地快速移動、聚焦和曝光最復雜的圖樣。TOKYO ELECTRON MARK8模型還具有先進的多點叠加設備,允許在單個曝光中生成大圖樣,而不包含圖樣的精度。這樣可以在大面積上快速暴露復雜的模式,並提高組件的吞吐量。此外,系統使用高精度、激光蝕刻的光掩模,具有清晰定義的圖樣,以獲得準確的結果。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8單元還擁有一臺全自動、高性能的濕式化學加工機,將處理光刻膠時遇到的汙染、相位分離、抗圖樣失真、蝕刻誤差等影響降至最低。濕化學工具還允許沈積尺寸從50 nm到幾百微米。Mark 8光致抗蝕劑資產也與一系列抗蝕劑材料兼容,如Positive、Negative和Semi-Positive。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8模型智能地平衡了溫度、壓力、速度和時間等幾個關鍵參數,以確保每批光致抗蝕劑的處理一致且可重復。這允許用戶獲得與指定圖樣和適當蝕刻深度一致的表面紋理並抵抗收縮。總體而言,TOKYO ELECTRON MARK 8光刻設備是每一項光刻工作的高效而有力的解決方案。系統的靈活性、準確性和可重復性導致了無與倫比的精確度水平,不存在猜測或錯誤的余地。結合這些功能,MARK8單元是滿足任何組織光刻需求的可靠主力軍。
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